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金融界2025年6月25日消息，国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“用于检查物体的计量系统的放大成像光学单元”的专利，公开号CN120195853A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明揭露一种作为检查物体的计量系统的一部分的放大成像光学单元(20c)。该放大成像光学单元具有至多四个反射镜(M1至M4)，其将物平面(17)中的物场(4)成像至成像平面(22)中的像场(21)。根据一方面，该放大成像光学单元的入射光瞳具有偏离椭圆的边界形状，且其纵横比不等于1。根据另一方面，用于沿成像束路径引导成像光(3)的小面积反射镜(M2、M3)的反射表面与球面形状偏差至多10μm。这产生了一种放大成像光学单元，其中为了特定的制造费用，所生成的成像结果能够满足计量系统的严格要求。
来源：金融界
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